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纳设智能成功研发8英寸碳化硅外延设备

2023-08-31

近日,据纳设智能官微消息,纳设智能成功研制出更大尺寸具有更多创新技术的8英寸碳化硅外延设备。据悉,该设备具备独特反应腔室设计、可独立控制的多区进气方式、以及智能的控制系统,将更好的提高外延片的均匀性,降低外延缺陷及生产中的耗材成本。


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