近日，据纳设智能官微消息，纳设智能成功研制出更大尺寸具有更多创新技术的8英寸碳化硅外延设备。据悉，该设备具备独特反应腔室设计、可独立控制的多区进气方式、以及智能的控制系统，将更好的提高外延片的均匀性，降低外延缺陷及生产中的耗材成本。
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